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国产化替代
薄膜沉积、3D立体封装、激光解键合...
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简介:九大独家: 客制化精密零件、自主研发、独家远端监控、双变频电控系统、人机触控界面、HOT N2功能模式、视觉灯效管理、6秒不断电UPS系统、关键数据趋势图 先进性: 干泵结构的优化设计以降低能耗; 零件采用特殊涂层,增加抗腐蚀能力; 新型冷却结构及内建热氮气吹扫功能模式
Dry Pump
简介:核心技术: 独家光学设计达到业界最低信噪比 独家AI影像比对技术,漏检率达到最低 结合光学及影像处理技术,在高反光背景材料和透明材料上均能清晰检测待测物 先进性: 采用独家双非球面镜头设计,搭配光学系统设计以及AI影像比对技术,显著提升AOI设备3D检测能力,Z轴解析度可达2um,漏检率低至<0.3%。 技术完全自主,可根据客户需求针对不同产品检测做定制化设计,协助客户达到高良率与最佳品质
AOI光学检测
简
介:核心技术: 自主特殊光路设计能力; 特定波长激光; 独家高良率拨片设计 先进性: 特殊的加大光斑以实现高产出; 大焦深光路设计以解决业界芯片翘曲问题; 特殊波长与波形的激光形成高良率; 特殊拨片设计以配合客户各种形态与不同种类与材质与厚度的选择
Laser Debonder
简
介:核心技术: 多站式(Multi-Stantion)设计,系统具有优异的膜厚均匀性; 模组化机台设计能够针对客户的需求做设计; 射频功率设计,使反应物能在低温的状态下达到高速率的沉积,进而提高产能; 先进性: 具有多站式(Multi-Stantion)设计,能够实现高重复性,使薄膜沉积的更加均匀; 优化RF功率,使薄膜应力及反射率达到最佳数值
PECVD
核心设备
Core equipment
简
介:核心技术: 独家专利设计的铝酸钠投药与流速设计,确保反应物均匀混合达成结晶反应; 即时监控氢氟酸废液浓度精准掌控投药时间与剂量,最大化反应效率; 独特的结晶体过滤系统,将氟离子过浓的混合液再导回至反应槽,让所排出的水体氟离子浓度最低 先进性: 无害化,氟离子去除率达95%以上; 形成结晶体反应性高,转换后的固体含水率可低于30%; 设备模组化,人机界面/自动模式操作,与客户原有系统高度兼容性;
On-site高浓度氢氟酸循环回收处理设备
简
介:九大独家: 客制化精密零件、自主研发、独家远端监控、双变频电控系统、人机触控界面、HOT N2功能模式、视觉灯效管理、6秒不断电UPS系统、关键数据趋势图 先进性: 干泵结构的优化设计以降低能耗; 零件采用特殊涂层,增加抗腐蚀能力; 新型冷却结构及内建热氮气吹扫功能模式
EMI防制PVD
简介:核心技术: 独家磁浮Carrier导轨结合特殊导流气体设计,降低微粒发生; 自主溅镀线体设计,掌控in-line 腔体设计核心 可调式进出片时序控制与防撞片监控系统,可配合不同使用规格需求客制化产能、膜厚搭配性。 先进性: 降温腔体设计,解除翘曲顾虑; 阴极靶材冷却设计,保证大功率长时间操作稳定性佳。
In-Line Sputter
简介:核心技术: 低温镀膜附着性与均匀性与3D立体镀膜技术; 激光金属电极化的稳定性与对准性技术; 低热效之激光与光路设计; 先进性: 正反两面同时镀膜的特殊腔体设计,保证工艺的稳定性 可实行温度控制,不会造成显示器特性的偏移; 独家Cathode与腔体的设计,正反两面同时镀膜的技术,保证侧边与正反两面镀膜厚度比例得以固定;
Side Wall Wiring
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